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物性失效分析

雙束聚焦離子束






透射電子顯微鏡


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雙束聚焦離子束


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雙束聚焦離子束(FIB-SEM)是聚焦離子束(FIB)與掃描電子顯微鏡(SEM)耦合系統(tǒng)，通過(guò)結(jié)合相應(yīng)的氣體沉積裝置，納米機(jī)械手，加載各種探測(cè)器及可控的樣品臺(tái)等附件成為一臺(tái)集微區(qū)成像、加工、分析、操縱于一體的分析儀器。

搭載的能量色散X射線光譜儀（Energy Dispersive Spectroscopy, EDS）可完成對(duì)材料微區(qū)成分元素種類與含量的分析。



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透射電子顯微鏡


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透射電子顯微鏡（TEM）是用波長(zhǎng)很短的電子束作電子光源，用電子槍發(fā)射出的高速率和聚集電子束照射到很細(xì)的試樣上，采集透射電子通過(guò)電磁透鏡進(jìn)行多級(jí)放大成像，具有高分辨和高放大倍數(shù)特性的電子光學(xué)儀器。

搭載的能量色散X射線光譜儀（Energy Dispersive Spectroscopy, EDS）可完成材料微區(qū)成分元素種類與含量的分析。



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