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物性失效分析

雙束聚焦離子束






透射電子顯微鏡


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雙束聚焦離子束


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雙束聚焦離子束(FIB-SEM)是聚焦離子束(FIB)與掃描電子顯微鏡(SEM)耦合系統，通過結合相應的氣體沉積裝置，納米機械手，加載各種探測器及可控的樣品臺等附件成為一臺集微區成像、加工、分析、操縱于一體的分析儀器。

搭載的能量色散X射線光譜儀（Energy Dispersive Spectroscopy, EDS）可完成對材料微區成分元素種類與含量的分析。



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透射電子顯微鏡


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透射電子顯微鏡（TEM）是用波長很短的電子束作電子光源，用電子槍發射出的高速率和聚集電子束照射到很細的試樣上，采集透射電子通過電磁透鏡進行多級放大成像，具有高分辨和高放大倍數特性的電子光學儀器。

搭載的能量色散X射線光譜儀（Energy Dispersive Spectroscopy, EDS）可完成材料微區成分元素種類與含量的分析。



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